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 瑞士TRIMOS TRSCAN激光全息表面(粗糙度)測量儀
 
設備名稱瑞士TRIMOS TRSCAN激光全息表面(粗糙度)測量儀
產品類別三坐標,量具,量儀 - 量儀 - 表面粗糙度量儀
產品參數
產品品牌其他
產品概述瑞士Trimos公司生產的TR-Scan非接觸表面粗糙度(微觀形貌)測量儀,系統核心選用數字全息三維顯微測量技術(DHM),廣泛應用于高精密微觀表面檢查。與傳統非接觸測量技術相比,測量速度快,對振動不敏感,真正的實現三維形貌納米級測量。 模塊化的設計理念,可配置色譜共聚焦顯微系統(CCS), 探針測量系統,傳感器直接更換,方便快捷,極大的滿足了不同的應用范圍。 即可用于計量單位和材料科學研發實驗室,也廣泛應用在工業制造領域:汽車、航天、航空、表面涂層、醫療產品、微型電機系統、半導體等行業。
生產企業北京丹青科技公司昆山辦事處
 詳細介紹
 

 

主要特點:
非接觸式測量原理,無損化檢測粗糙度,微觀形貌
獨有的數字全息三維顯微技術,真正實現3D微觀形貌測量
創新的成像原理,從原理上保證了對外界振動不敏感,Z軸分辨率高
模塊化的設計概念,直接更換傳感器,不需要調整,方便快捷
可非標定制相應的測量頭,滿足不同客戶的特殊工件測量要求
即可選用數字全息技術實現高精密表面測量,也可選用色譜共聚焦技術實現微觀輪廓測量或選用接觸式探針實現內壁粗糙度測量
應用了Trimos“智能用戶界面的理念,測量過程全自動,操作簡單
采用專業的3D形貌分析軟件,功能強大,即可實現2D輪廓測量,也可進行3D形貌分析
可進行編程批量檢測并自動生成分析報告
完全兼容2D標準,并已內置即將制定的3D標準ISO25178
 
技術參數:
 
型 號
 
TR Scan-101
TR Scan-301
工作臺移動范圍X
mm
固定式
100
工作臺移動范圍Y
mm
固定式
100
工作臺移動范圍Z
mm
240
XYZ軸最小移動量
um
0.1
XYZ軸定位精度
um
1
XY軸導軌直線度
um
0.3
工件最大重量
Kg
20
 
 
測量頭
 
DHM S1
DHM S2
CCM P1
DIM P1
垂直分辨率(Z)
nm
0.1
0.1
8~780 **
10
軸向分辨率(XY)
um
0.6
0.6
0.9~14 **
1
典型測量范圍(Ra) *
um
0.4
1.6
0.012 ~>200 **
20
垂直測量范圍 *
um
3
7
130~24000 **
350
最大允許誤差(Ra)
%
1%
1%
1%~5% **
5%
重復性(Ra,1σ)
nm
< 0.1
< 0.1
< 5~25 **
9
樣品反射率
%
< 1% ~100%
< 1% ~100%
< 1% ~100%
-
視場范圍
mm
0.25 x 0.25
0.25 x 0.25
-
-
* 對于不同的被測表面, 此數值會不同
**根據使用的鏡頭而在此范圍內變動
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